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高级包装光刻机投用获国家发明专利22项

火鲤鱼用户用户来自于: 未知
2023-04-16 02:44

目前该技术已申请国家发明专利74项,可以满足8英寸和12英寸硅片封装的新工艺要求,国家发明专利授权22项,江阴长电成功完成了第一批8英寸“重布线和凸点工艺”,国际发明专利申请3项,国家科技重大项目“大规模集成电路制造设备及成套工艺”取得新进展,上海微电子设备有限公司生产的首款advanced 封装光刻机正式出售给江阴长电 Advanced 封装有限公司并投入使用。

对提升我国集成电路制造自主创新能力具有重要意义,标志着我国高端关键设备创新取得突破,光刻机具有“大视场、大焦深、高叠加精度、边缘曝光”等技术特点,7月16日,在半年多的试运行中。

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发布时间
2023-04-16 02:44
更新时间
2023-04-16 02:44

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