层压机及层压机的对准调整方法与流程

[0001]本发明涉及一种层压机及层压机的对准调整方法。背景技术：[0002]以往，已知有在基板等工件上层压树脂制的膜等的层压机。[0003]作为这样的层压机，例如已知有在真空室(vacuum chamber)内将层压膜连续地层压在工件上的真空层压机。在真空层压机中，膜辊轴(层压膜辊的旋转轴)、层压辊以及卷取辊等设置在真空室内，从真空室外旋转驱动膜辊轴和卷取辊。[0004]此外，例如在专利文献1中记载有有关真空层压机的技术。[0005]现有技术文献[0006]专利文献[0007]专利文献1：日本特开2003－118001号公报技术实现要素：[0008]发明要解决的问题[0009]但是，在使用辊的真空层压机中，相对于层压的处理工序所要求的条件，需要严密地调整辊的对准。例如，需要使辊的姿势(旋转轴的倾斜)相对于层压的处理工序所要求的条件在预先设定的允许范围内，并且为了控制层压膜的边缘的位置，需要调整卷取辊的推力方向的位置。[0010]此时，需要一并调整与从真空室外驱动辊的电动机的连接状态，导致在进行辊的对准作业时作业负担增大。另外，在从真空室外通过电动机驱动辊的情况下，驱动力的传递机构在贯通真空室的部分设置有用于维持真空的密封件，即使进行辊的对准调整，也需要利用密封件维持真空。[0011]这样，在以往的技术中，不能容易地对进行真空层压的层压机进行对准调整。[0012]本发明的课题在于，能够更容易地对进行真空层压的层压机进行对准调整。[0013]用于解决问题的方案[0014]为了解决上述课题，本发明的一实施方式所涉及的层压机的特征在于，[0015]具备：[0016]真空室；[0017]辊，其设置于所述真空室内，用于真空层压；[0018]对准调整机构，其用于调整所述辊的对准；以及[0019]致动器，其产生使所述辊旋转的驱动力，[0020]输出所述致动器的驱动力的输出侧旋转轴的前端配置在真空区域的外部，输入使所述辊旋转的驱动力的输入侧旋转轴的前端配置在真空区域的内部，所述输出侧旋转轴的前端与所述输入侧旋转轴的前端电磁连接。[0021]发明效果[0022]根据本发明，能够更容易地对进行真空层压的层压机进行对准调整。附图说明[0023]图1是表示本发明所涉及的真空层压机1整体结构的示意图。[0024]图2是表示真空室内的层压机构的结构的示意图。[0025]图3是表示卷取辊14的设置结构例的示意图。[0026]图4是表示变形例1中的卷取辊14的设置结构例的示意图。具体实施方式[0027]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。[0028][整体结构][0029]图1是表示本发明所涉及的真空层压机1整体结构的示意图。[0030]此外，在图1中，作为透过真空层压机1的内部的立体图，示出了主要部分。[0031]另外，图2是表示真空室内的层压机构的结构的示意图。[0032]如图1和图2所示，真空层压机1在真空室1a内具备：上侧膜辊轴11a、下侧膜辊轴11b、上侧张力辊12a、下侧张力辊12b、上侧层压辊13a、下侧层压辊13b、卷取辊14、定心板15、分体板16、以及台车17。另外，真空层压机1在真空室1a外具备作为致动器的转矩调整用电动机21、22及旋转驱动用电动机23。此外，在真空室1a的隔壁上，以部件的连接等为目的而形成有多个贯通孔，在各贯通孔上，具备用于防止贯通孔中的真空泄漏的密封部1b。[0033]上侧膜辊轴11a构成供给用于真空层压的上侧层压膜的膜辊的旋转轴，通过转矩调整用电动机21控制旋转转矩。[0034]下侧膜辊轴11b构成供给用于真空层压的下侧层压膜的膜辊的旋转轴，通过转矩调整用电动机22控制旋转转矩。[0035]上侧张力辊12a是为了检测上侧层压膜的张力而设置的张力辊。此外，也可以将上侧张力辊12a作为引导上侧层压膜的输送的导辊。另外，也可以取代上侧张力辊12a而设置松紧调节辊(dancer roller)，通过机械结构消除上侧层压膜的松弛。[0036]下侧张力辊12b是为了检测下侧层压膜的张力而设置的张力辊。此外，也可以将下侧张力辊12b作为引导下侧层压膜的输送的导辊。另外，也可以取代下侧张力辊12b而设置松紧调节辊，通过机械结构消除下侧层压膜的松弛。[0037]上侧层压辊13a和下侧层压辊13b利用层压膜的输送而从动旋转，在真空环境下压接被夹入上侧层压辊13a与下侧层压辊13b之间的上侧层压膜和下侧层压膜，由此进行层压处理。[0038]卷取辊14以旋转轴可旋转的方式支撑在固定于台车17的支撑部件17a上。另外，卷取辊14由旋转驱动用电动机23旋转驱动，卷取从上侧层压辊13a和下侧层压辊13b输送出的已层压膜。[0039]此外，关于卷取辊14的具体的设置结构例将在后面叙述。[0040]定心板15是用螺栓等固定在真空室1a内的底面上的板状部件，在定心板15上设置有分体板16、台车17及卷取辊14。[0041]分体板16是相对于定心板15由顶起螺栓(jack bolt)支撑四角的板状部件，通过调整顶起螺栓，能够调整相对于定心板15和真空室1a的底面的倾斜。由此，作为对准调整，能够进行卷取辊14的姿势的调整(旋转轴的倾斜调整)。另外，将分体板16的各螺栓孔设为在一方向(例如与推力方向正交的方向)上较长的长孔，也可以使分体板16整体在该一方向上平行移动。[0042]台车17构成为能够在分体板16上沿卷取辊14的推力方向移动。分体板16和台车17例如可经由线性引导件以能够沿推力方向直线移动的方式连接。此外，在本实施方式中，台车17如图1中以单点划线示意性所示，以推力方向的移动联动的方式与旋转驱动用电动机23机械连接。[0043]转矩调整用电动机21具备传递转矩的调整机构(例如，粉末离合器等)，产生用于控制从上侧膜辊轴11a送出的上侧层压膜的张力的旋转转矩。[0044]转矩调整用电动机22具备传递转矩的调整机构(例如，粉末离合器等)，产生用于控制从下侧膜辊轴11b送出的下侧层压膜的张力的旋转转矩。[0045]旋转驱动用电动机23具备传递转矩的调整机构(例如，粉末离合器等)，产生用于旋转驱动卷取辊14的旋转转矩。[0046]此外，也可以在转矩调整用电动机21、22及旋转驱动用电动机23中不具备传递转矩的调整机构，而通过控制输出的旋转转矩来调整转矩。[0047]另外，也可以取代转矩调整用电动机21、22而具备调整上侧膜辊轴11a及下侧膜辊轴11b的旋转阻力的机构(例如，粉末制动器等)。在该情况下，也可控制从上侧膜辊轴11a和下侧膜辊轴11b送出的上侧层压膜和下侧层压膜的张力。[0048][卷取辊的设置结构例][0049]图3是表示卷取辊14的设置结构例的示意图。[0050]卷取辊14具备应用了本发明的对准调整功能。[0051]如图3所示，在真空室1a的内部，卷取辊14以旋转轴可旋转的方式支撑在固定于台车17的支撑部件17a上。另外，在卷取辊14的旋转轴的前端设置有用于磁耦合的盘14a，隔着真空区域的边界与设置在旋转驱动用电动机23的旋转轴的前端的盘23a电磁连接。[0052]在本实施方式中，卷取辊14的旋转轴贯通真空室1a的隔壁，设置于卷取辊14的旋转轴的前端的盘14a在设置于隔壁的外部侧的密封部1b内，与设置于旋转驱动用电动机23的旋转轴的前端的盘23a隔着密封部1b的密封板31相对。设置在盘14a与盘23a之间的部件(在此为密封板31)优选由不产生涡电流的材料或更难以产生涡电流的材料构成，例如，可由不产生涡电流的树脂或比较难以产生涡电流的不锈钢等金属构成。[0053]密封部1b具有对卷取辊14的旋转轴贯通真空室1a的贯通孔进行密封的结构，堵住贯通孔的密封板31经由波纹管(bellows)32设置在真空室1a的隔壁的外侧。[0054]另外，密封板31经由万向接头(universal joint)用连接部件33与台车17的一端连接。因此，通过使密封板31与真空室1a的隔壁之间的距离变化，卷取辊14和盘14a沿推力方向移动。此外，在该情况下，作为使卷取辊14和盘14a沿推力方向移动的机构，可以另外具备移动用的电动机，或者通过手动操作来进行。[0055]由此，作为对准调整，实现已层压膜的边缘位置的控制(推力方向的位置调整)。[0056]在此，在进行卷取辊14的对准调整(推力方向的位置调整及旋转轴的倾斜调整)时，电磁连接的盘14a、23a彼此的距离及倾斜不要求严密性，在设定的范围内允许偏移。在本实施方式中，用于使电磁连接的盘14a、23a彼此适当地电磁连接的连接条件形成为，可允许利用对准调整而使卷取辊14的盘14a相对于旋转驱动用电动机23的盘23a产生的偏移量的最大值。[0057]因此，根据本实施方式所涉及的真空层压机1，能够更容易地进行卷取辊14的对准调整。[0058]另外，在本实施方式中，旋转驱动用电动机23的旋转轴相对于固定于密封板31的保持部件34限制轴向的移动而被可旋转地支撑。[0059]因此，在图3所示的结构例的情况下，当为了调整已层压膜的边缘位置而使卷取辊14沿推力方向移动时，维持保持部件34、盘23a、连接部件33、台车17、支撑部件17a、卷取辊14及盘14a的位置关系。即，在进行推力方向的对准调整时，维持设置在卷取辊14的旋转轴的前端的盘14a与设置在旋转驱动用电动机23的旋转轴的前端的盘23a的位置关系，在进行了对准调整时，包括电磁连接的状态在内，进行各部的调整作业的负担得以减轻。[0060]另外，根据本实施方式所涉及的真空层压机1，能够形成不产生对密封部1b中的旋转轴的阻力(旋转摩擦)的结构。[0061][作用][0062]接着，说明真空层压机1的作用。[0063]在真空层压机1中，在执行真空层压之前，需要进行各辊的旋转轴的倾斜的调整。[0064]在进行卷取辊14的旋转轴的倾斜调整(旋转轴的对准调整)时，可通过调整分体板16的顶起螺栓，调整卷取辊14整体的姿势。[0065]此时，虽然卷取辊14的盘14a与旋转驱动用电动机23的盘23a的位置关系有可能发生变化，但在本实施方式中，由于盘14a、23a被电磁连接，因此不要求它们的严密的位置关系的调整。[0066]因此，能够减轻进行卷取辊14的旋转轴的对准调整时的作业负担。[0067]另外，在真空层压机1中，与各辊的旋转轴的倾斜调整一起，进行由卷取辊14卷取的已层压膜的边缘位置的调整。[0068]在进行卷取辊14的推力方向的位置调整(推力方向的对准调整)时，可通过使保持部件34、盘23a、连接部件33、台车17、支撑部件17a、卷取辊14及盘14a沿卷取辊14的推力方向移动，调整已层压膜的边缘位置。[0069]此时，维持设置在卷取辊14的旋转轴的前端的盘14a与设置在旋转驱动用电动机23的旋转轴的前端的盘23a的位置关系，在进行了推力方向的对准调整时，包括电磁连接的状态在内，进行各部的调整作业的负担得以减轻。[0070]另外，由于不要求盘14a、23a的严密的位置关系的调整，所以即使假设盘14a与盘23a的位置关系在一定范围内发生了变化，也能够维持电磁连接，可减轻进行卷取辊14的推力方向的对准调整时的作业负担。[0071]因此，根据本发明，能够更容易地对进行真空层压的层压机进行对准调整。[0072][变形例1][0073]在上述实施方式中，如图3所示，说明了在使卷取辊14沿推力方向移动时维持保持部件34、盘23a、连接部件33、台车17、支撑部件17a、卷取辊14以及盘14a的位置关系的卷取辊14的设置结构例。[0074]与此相对，可设为具备使卷取辊14沿推力方向移动的电动机、且旋转驱动用电动机23的位置固定的设置结构。[0075]图4是表示本变形例中的卷取辊14的设置结构例的示意图。[0076]图4所示的设置结构例与图3所示的设置结构例的主要不同点在于，具备用于推力方向的位置调整的推力调整用电动机24，该推力调整用电动机24与台车17连接，并且在卷取辊14的旋转轴上设置有减速机构141。[0077]在图4所示的设置结构例中，推力调整用电动机24的旋转轴贯通形成于真空室1a的隔壁的贯通孔，经由万向接头与台车17的一端连接。此外，在该贯通孔的部分设置有密封部1b。但是，由于推力调整用电动机24的输出比旋转驱动用电动机23的输出小就足够了，所以也可将图3中的密封部1b的尺寸设为更小。[0078]另外，旋转驱动用电动机23的旋转轴不被保持部件34保持，盘23a隔着密封板31与盘14a相对。此外，密封板31不具备波纹管32，而是以维持真空的状态直接固定在真空室1a的隔壁的外侧。在图4所示的结构的情况下，旋转驱动用电动机23可固定设置。[0079]在减速机构141中，具备：与盘14a连接的驱动力的输入轴141a；以驱动力的输入轴141a为旋转轴的齿轮141b；以及设置于卷取辊14的旋转轴且与齿轮141b啮合的齿轮141c。[0080]输入轴141a和齿轮141b可旋转地支撑在设置于分体板16的支撑部件16a上，成为在推力方向上不移动的结构。另一方面，卷取辊14以旋转轴可旋转的方式支撑在设置于台车17的支撑部件17a上，台车17利用推力调整用电动机24移动，由此卷取辊14沿推力方向移动。此时，台车17在维持齿轮141b与齿轮141c的啮合的范围内移动。[0081]在这种结构的情况下，旋转驱动用电动机23不会沿推力方向移动，另外，在密封部1b中不需要波纹管32或保持部件34等在推力方向上排列的部件，因此可抑制从真空室1a突出的部分的尺寸。[0082]另外，在图4所示的设置结构例中，由于未在卷取辊14的旋转轴的端部设置盘14a，所以可将该部分活用于不同的功能。[0083]例如，在图4所示的例子中，在卷取辊14的旋转轴的端部设置有旋转接头14b，并经由旋转接头14b，设置有设置在卷取辊14的旋转轴上的气动卡盘(air chuck)用的空气的供给通路。[0084]在该情况下，通过卷取已层压膜，即使蓄积在卷取辊14上的已层压膜的量发生变化，也能够与该变化对应地调整气动卡盘的强度，可更适当地将卷取辊14保持在旋转轴上。[0085]另外，在变形例1所涉及的真空层压机1中，也可设为不产生密封部1b的对旋转轴的阻力(旋转摩擦)的结构。[0086]此外，上述实施方式以及变形例是本发明的实施方式的一例，实现本发明的功能的各种实施方式均包含在本发明的范围内。[0087]例如，在第一实施方式中，举例说明了将本发明应用于卷取辊14的情况，但并不限于此。例如，可将本发明应用于上侧膜辊轴11a或下侧膜辊轴11b等从真空室1a的外部输入驱动力而旋转的各种辊。[0088]另外，在上述实施方式及变形例中，举例说明了在卷取辊14的旋转轴的端部具备盘14a、在旋转驱动用电动机23的旋转轴的端部具备与盘14a相对配置的盘23a、盘14a与盘23a电磁连接的结构，但不限于此。即，作为将卷取辊14的旋转轴与旋转驱动用电动机23的旋转轴电磁连接的形态，可以采用使用盘以外的部件的各种结构。例如，可设为通过将卷取辊14的旋转轴和旋转驱动用电动机23的旋转轴中的一方设为内筒，将另一方设为外筒，并在内筒的外周及外筒的内周分别设置磁铁，从而将它们电磁连接的结构。[0089]另外，在上述变形例1中，说明了在卷取辊14的旋转轴上设置减速机构141的情况，但不限于此。即，在图4所示的结构中，可取代减速机构141而具备不进行减速的齿轮比的齿轮机构，或者具备带等齿轮以外的旋转传递机构，或者不具备减速机构141而在卷取辊14的旋转轴的前端直接设置盘14a。[0090]另外，可使上述实施方式及变形例适当组合来构成真空层压机1。例如，可将图3所示的设置结构例和图4所示的设置结构例分别应用于不同的辊来制备真空层压机1。[0091]以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限于上述实施方式。另外，本实施方式所记载的效果只不过是列举了由本发明产生的最优选的效果，本发明的效果并不限定于本实施方式所记载的效果。[0092]【符号说明】[0093]1真空层压机；1a真空室；1b密封部；11a上侧膜辊轴；11b下侧膜辊轴；12a上侧张力辊；12b下侧张力辊；13a上侧层压辊；13b下侧层压辊；14卷取辊；14a、23a盘；141减速机构；141a输入轴；141b、141c齿轮；14b旋转接头；15定心板；16分体板；16a、17a支撑部件；17台车；21、22转矩调整用电动机；23旋转驱动用电动机；24推力调整用电动机；31密封板；32波纹管；33连接部件；34保持部件