处理系统的制作方法

[0001]本发明涉及一种处理系统，其具备对半导体晶片等处理对象物进行规定处理的处理装置和进行处理对象物相对于处理装置的搬运的搬运机器人。背景技术：[0002]目前，已知有搬运半导体晶片的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备载置半导体晶片的手、以使手能够转动的方式连接所述手的臂以及以使臂的基端侧能够转动的方式连接臂基端侧的主体部。该工业用机器人通过组装到半导体制造系统中来使用，进行半导体晶片从对半导体晶片进行规定处理的处理装置的搬出和半导体晶片向处理装置的搬入。[0003]现有技术文献[0004]专利文献[0005]专利文献1：日本特开2017-119326号公报技术实现要素：[0006]发明所要解决的技术问题[0007]在组装到半导体制造系统中的处理装置中，有一种使用易燃有机溶剂对半导体晶片进行处理的处理装置。在这种情况下，组装到半导体制造系统中的工业用机器人可能产生必须搬运上表面载有易燃有机溶剂的半导体晶片的状况。当工业用机器人搬运上表面载有易燃有机溶剂的半导体晶片时，若半导体晶片的上表面载有的易燃有机溶剂从半导体晶片洒落并在处理装置的外部扩散，则可能发生各种各样的问题。[0008]因此，本发明的技术问题在于，提供一种处理系统，其具备对处理对象物进行规定处理的处理装置和进行处理对象物相对于处理装置的搬运的搬运机器人，当搬运机器人搬运处理对象物时，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也可以抑制洒落的物体在处理装置的外部扩散。[0009]解决技术问题所采用的技术方案[0010]为了解决上述技术问题，本发明的处理系统的特征在于，具备处理装置和搬运机器人，所述处理装置对处理对象物进行规定处理，所述搬运机器人进行从处理装置搬出处理对象物及将处理对象物搬入到处理装置中的至少任一项，在处理装置中形成有用于在处理装置的内部和处理装置的外部之间搬运处理对象物的开口部，搬运机器人具备载置处理对象物的手、使朝向恒定方向的状态的手线性移动的手移动机构、配置于比手靠下侧的位置且用于接收从处理对象物掉落的物体的接收部件、以及使接收部件的至少一部分沿手的往复移动方向移动的接收部件移动机构，手移动机构使手在第一位置和第二位置之间移动，在该第一位置，从开口部进入处理装置的手配置于处理装置的内部，在该第二位置，手配置于处理装置的外部，接收部件至少配置于载置在配置于第二位置的手上的处理对象物的下侧，接收部件移动机构使接收部件的至少一部分在第三位置和第四位置之间移动，并且至少当载置有处理对象物的状态的手在第一位置和第二位置之间移动时，使接收部件的至少一部分移动至第三位置，其中，在该第三位置，从开口部进入处理装置的接收部件的一部分配置于处理装置的内部，在该第四位置，接收部件配置于处理装置的外部。[0011]在本发明的处理系统中，配置成比手靠下侧且用于接收从处理对象物掉落的物体的接收部件至少配置于载置在配置于第二位置的手上的处理对象物的下侧(即，配置于处理装置外部的处理对象物的下侧)。因此，在本发明中，当搬运机器人在处理装置的外部对载置于手上的处理对象物进行搬运时，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也能够通过接收部件抑制洒落的物体扩散(飞散)。[0012]另外，在本发明中，至少当载置有处理对象物的状态的手在第一位置和第二位置之间移动时，接收部件移动机构使接收部件的至少一部分移动至第三位置，在该第三位置，从开口部进入处理装置的接收部件的一部分配置于处理装置的内部。因此，在本发明中，当搬运机器人将载置于手上的处理对象物从处理装置搬出时，或当搬运机器人将载置在手上的处理对象物搬入到处理装置时，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也可以通过接收部件抑制洒落的物体扩散。[0013]由此可见，在本发明中，当搬运机器人在处理装置的外部对处理对象物进行搬运时，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，另外，当搬运机器人将处理对象物从处理装置搬出时或当搬运机器人将处理对象物搬入处理装置时，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，均可以通过接收部件抑制洒落的物体的扩散。因而，在本发明中，当搬运机器人搬运处理对象物时，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也可以抑制洒落的物体在处理装置的外部扩散。[0014]在本发明中，理想的是，当将手从第一位置朝向第二位置移动的移动方向设为第一方向且将与手的往复移动方向和上下方向正交的方向设为第二方向时，搬运机器人具备盖部件，该盖部件从上下方向的两侧、第二方向的两侧及第一方向侧覆盖配置于第二位置的手，盖部件的底部为接收部件。根据该结构，即使在高挥发性物体载于处理对象物上且载于处理对象物上的物体蒸发的情况下，也可以通过从上下方向的两侧、第二方向的两侧及第一方向覆盖配置于第二位置的手的盖部件抑制蒸发物在处理装置的外部扩散。[0015]在本发明中，理想的是，盖部件具备固定盖及相对于固定盖能移动的可动盖，至少当载置有处理对象物的状态的手在第一位置和第二位置之间移动时，接收部件移动机构使可动盖移动至第三位置，且将可动盖的一部分配置于处理装置的内部。根据该结构，与接收部件移动机构使整个盖部件移动的情况相比，即使接收部件移动机构的驱动力较小，也可以使可动盖移动。因而，可以简化接收部件移动机构的结构，使接收部件移动机构小型化。[0016]在本发明中，理想的是，搬运机器人具备从盖部件内部吸引空气的吸引机构。根据该结构，即使当高挥发性物体载于处理对象物上且载于处理对象物上的物体在盖部件内部蒸发的情况下，也可以将蒸发物与空气一起吸引并排放到盖部件外部的规定位置。因而，即使高挥发性物体载于处理对象物上，也可以有效地抑制蒸发物在处理装置的外部扩散。另外，根据该结构，可以将从处理对象物洒落到接收部件(即，盖部件底部)的落下物与空气一起吸引并排放到盖部件外部的规定位置。因而，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也可以有效地抑制洒落的物体在处理装置外部扩散。[0017]在本发明中，盖部件例如由金属形成。另外，在本发明中，接收部件移动机构例如具备气缸。[0018]在本发明中，例如，手移动机构具备多关节臂和臂驱动机构，该多关节臂在前端侧以使手能够转动的方式连接该手，该臂驱动机构使多关节臂伸缩，第一位置是当多关节臂延伸到规定位置时的手的位置，第二位置是当多关节臂收缩到规定位置时的手的位置。[0019]另外，在本发明中，例如，搬运机器人具备：臂支承部件，所述臂支承部件以使多关节臂的基端侧能够转动的方式连接多关节臂的基端侧；保持架，所述保持架以使臂支承部件能升降的方式保持臂支承部件；升降机构，所述升降机构使臂支承部件相对于保持架升降；以及转动机构，所述转动机构使保持架以上下方向为转动的轴向进行转动，当手位于第二位置时，转动机构使保持架转动。[0020]发明效果[0021]如上所述，在本发明中，在具备对处理对象物进行规定处理的处理装置和进行处理对象物相对于处理装置的搬运的搬运机器人的处理系统中，当搬运机器人搬运处理对象物时，即使载于处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也可以抑制洒落的物体在处理装置外部扩散。附图说明[0022]图1是用于说明本发明实施例的处理系统的结构的俯视图。[0023]图2是用于说明图1所示的处理系统的结构的侧视图。[0024]图3是图1所示的搬运机器人的立体图。[0025]图4是用于说明图3所示的搬运机器人的结构的框图。[0026]图5是从图2的e-e方向示出手、臂支承部件及盖部件等的图。[0027]图6(a)和图6(b)是用于说明图3所示的搬运机器人的动作的图。[0028]附图标记说明[0029]1…处理系统；2…晶片(半导体晶片，处理对象物)；3…处理装置；3a…开口部；4…机器人(搬运机器人)；6…手；6a…第一位置；6b…第二位置；7…臂(多关节臂，手移动机构的一部分)；9…臂支承部件；10…保持架；12…臂驱动机构(手移动机构的一部分)；13…升降机构；14…转动机构；15…盖部件；15a…底部(接收部件)；16…固定盖；17…可动盖；17a…第三位置；17b…第四位置；18…盖移动机构(接收部件移动机构)；19、20…吸引机构；30…气缸；x…手的往复移动方向；x2…第一方向；y…第二方向。具体实施方式[0030]以下，参照附图说明本发明的实施方式。[0031](处理系统的概略结构)[0032]图1是用于说明本发明实施例的处理系统1的结构的俯视图。图2是用于说明图1所示的处理系统1的结构的侧视图[0033]本实施例的处理系统1构成用于制造半导体的半导体制造系统的一部分。处理系统1具备对作为处理对象物的半导体晶片2(下面，设为“晶片2”)进行规定处理的处理装置3和进行从处理装置3搬出晶片2及将晶片2搬入处理装置3中的至少任一项的搬运机器人4(下面，设为“机器人4”)。晶片2形成为圆盘状。[0034]在处理装置3的内部配置有用于处理晶片2的各种设备。在处理装置3中形成有用于在处理装置3的内部和处理装置3的外部之间搬运晶片2的开口部3a(参照图2)。即，在处理装置3的壳体上形成有用于在处理装置3的内部和处理装置3的外部之间搬出和搬入晶片2的开口部3a。开口部3a形成为水平方向细长的长方形。在本实施例中，在处理装置3中的晶片2的处理工序及处理装置3中的晶片2的处理工序的前工序中的至少任一工序中使用易燃有机溶剂(药液)。因此，易燃有机溶剂载于从处理装置3搬出的晶片2的上表面及搬入到处理装置3的晶片2的上表面中的至少任一上表面。[0035]机器人4为水平多关节型机器人。机器人4具备载置晶片2的手6、在前端侧以使手6能够转动的方式连接手6的多关节臂7(下面，设为“臂7”)以及连接臂7的基端侧的主体部8。下面，对机器人4的结构及机器人4的概略动作进行说明。[0036](搬运机器人的结构和概略动作)[0037]图3是图1所示的机器人4的立体图。图4是用于说明图3所示的机器人4的结构的框图。图5是从图2的e-e方向示出手6、臂支承部件9及盖部件15等的图。图6(a)和图6(b)是用于说明图3所示的机器人4的动作的图。[0038]如上所述，机器人4具备手6、臂7及主体部8。主体部8具备以使臂7的基端侧能够转动的方式连接臂7的基端侧的臂支承部件9、以使臂支承部件9可升降的方式保持臂支承部件9的保持架10以及构成机器人4的下端部的基底部件11。另外，机器人4具备使臂7伸缩的臂驱动机构12、使臂支承部件9相对于保持架10升降的升降机构13以及使保持架10相对于基底部件11以上下方向为转动的轴向进行转动的转动机构14。[0039]另外，机器人4具备用于覆盖手6及臂7的盖部件15。盖部件15具备固定盖16及相对于固定盖16可移动的可动盖17。本实施例的盖部件15由固定盖16和可动盖17构成。固定盖16及可动盖17由金属形成。即，盖部件15由金属形成。机器人4还具备使可动盖17移动的盖移动机构18(参照图2)和从盖部件15的内部吸引空气的吸引机构19、20(参照图5)。[0040]臂7由第一臂部22和第二臂部23构成。第一臂部22的基端侧以能够转动的方式连接于主体部8。第二臂部23的基端侧以能够转动的方式连接于第一臂部22的前端侧。手6由载置晶片2的晶片载置部24及连接至臂7的手基部25构成。晶片载置部24形成为叉状。晶片载置部24的基端部固定于手基部25的前端部。手基部25的基端侧以能够转动的方式连接于第二臂部23的前端侧。手6、第二臂部23及第一臂部22从上侧开始依次配置。[0041]臂支承部件9形成为中空块状。第一臂部22的基端侧以能够转动的方式连接于臂支承部件9的上表面。保持架10具备隔着臂7配置的两个柱部26。柱部26形成为以上下方向为长度方向的柱状。另外，保持架10具备供柱部26的下端部固定并且构成保持架10的下端部的框架下部27。基底部件11形成为平板状。保持架10的下端部以能够转动的方式连接于基底部件11的上表面。[0042]升降机构13具备电动机、将电动机的动力传递给臂支承部件9的动力传递机构以及沿上下方向引导臂支承部件9的导向机构。动力传递机构例如具备配置于柱部26内部的滚珠丝杠。或者，动力传递机构具备配置于柱部26内部的皮带及带轮。导向机构具备沿着柱部26配置的导轨及与导轨卡合的导块。转动机构14具备电动机及将电动机的动力传递给框架下部27的动力传递机构。转动机构14的动力传递机构例如具备配置于框架下部27内部的皮带及带轮。[0043]臂驱动机构12具备电动机及将电动机的动力传递给臂7的动力传递机构。臂驱动机构12的动力传递机构具备配置于臂7内部的皮带及带轮等。臂驱动机构12使臂7伸缩，以使手6以朝向恒定方向的状态线性移动。具体地说，臂驱动机构12使臂7伸缩，以使手6和臂7的连接部分在手6朝向恒定方向的状态下线性移动。例如，臂驱动机构12使臂7伸缩，以使手6在手6的前端朝向图1左侧的状态下沿图1的左右方向线性移动。[0044]另外，臂驱动机构12使臂7伸缩，以使手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动，其中，在第一位置6a，从处理装置3的开口部3a进入处理装置3的手6配置于处理装置3的内部(参照图6(b))，在第二位置6b，手6配置于处理装置3的外部(参照图1，图6(a))。在本实施例中，由臂7和臂驱动机构12构成使朝向恒定方向的状态的手6线性移动的手移动机构，该手移动机构使手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动。[0045]第一位置6a是当臂7延伸到规定位置时的手6的位置。在本实施例中，当手6处于第一位置6a时，在手6和处理装置3之间进行晶片2的移交。第二位置6b是当臂7收缩到规定位置时的手6的位置。在本实施例中，当手6处于第二位置6b时，通过转动机构14以上下方向为转动的轴向进行转动的机器人4的转动转半径变得最小。当手6处于第二位置6b时，转动机构14使保持架10转动。即，当手6处于第二位置6b时，转动机构14使机器人4转动。[0046]在下面的说明中，为了便于说明，将手6的往复移动方向(图1等中的x方向)设为前后方向，将与前后方向和上下方向正交的图1等中的y方向设为左右方向。另外，将前后方向中的、从第二位置6b朝向第一位置6a移动的手6的移动方向(图1等中的x1方向)设为“前”方向，将前后方向中的、从第一位置6a朝向第二位置6b移动的手6的移动方向(图1等中的x2方向)设为“后”方向。本实施例的后方向(x2方向)是第一方向，左右方向(y方向)是第二方向。[0047]固定盖16形成为前表面开放的大致长方体的箱状。固定盖16固定于臂支承部件9的上表面。如上所述，固定盖16由金属形成。具体地说，固定盖16由不锈钢板形成。固定盖16由构成固定盖16的底表面的底板16a、构成固定盖16的上表面的顶板16b、构成固定盖16的左右侧表面的两块侧板16c以及构成固定盖16的后表面的后板16d构成。底板16a及顶板16b形成为与上下方向正交的平板状，侧板16c形成为与左右方向正交的平板状。[0048]可动盖17形成为前表面的一部分及后表面开放的大致长方体的箱状。如上所述，可动盖17由金属形成。具体地说，可动盖17由不锈钢板形成。可动盖17由构成可动盖17的底表面的底板17a、构成可动盖17的上表面的平板状的顶板17b、构成可动盖17的左右侧表面的平板状的两块侧板17c构成。顶板17b形成为与上下方向正交的平板状，侧板17c形成为与左右方向正交的平板状。[0049]底板17a具备构成底板17a的前端侧部分的底板部17d、17e和作为底板17a的底板部17d、17e以外的部分的底板部17f。底板17d～17f形成为与上下方向正交的平板状。底板部17d配置成比底板部17e靠前侧。底板部17e配置成比底板部17f靠上侧，底板部17d配置成比底板部17e靠上侧。底板部17f配置成比底板16a靠上侧。[0050]另外，底板17a具备连接底板部17d的后端和底板部17e的前端的台阶部17g及连接底板部17e的后端和底板部17f的前端的台阶部17h。本实施例的底板17a由底板部17d～17f和台阶部17g、17h构成。台阶部17g、17h形成为与前后方向正交的平板状，底板17a形成为阶梯状。在可动盖17的前表面，底板部17d和顶板17b之间开口。[0051]可动盖17的后端侧部分容纳在固定盖16中。可动盖17的形成有底板部17d、17e的部分配置成比固定盖16的前端靠前侧。可动盖17相对于固定盖16能够在前后方向上移动。另外，可动盖17配置于臂支承部件9的上表面侧，使得其相对于臂支承部件9能够在前后方向上移动。[0052]底板部17d配置成比手6靠下侧。即，底板16a、17a配置成比手6靠下侧。在本实施例中，由底板16a和底板17a构成盖部件15的底部15a。另外，本实施例的底部15a为配置成比手6靠下侧且用于接收从晶片2掉落的物体的接收部件。此外，在下面的说明中，将可动盖17的形成有底板部17d的部分作为“前端部17j”。[0053]配置于第二位置6b的手6配置在盖部件15中。在配置于第二位置6b的手6的下侧配置有底部15a(即，底板16a、17a)，配置于第二位置6b的整个手6被底部15a从下侧覆盖。另外，底部15a配置于载置在配置于第二位置6b的手6上的晶片2的下侧，载置在配置于第二位置6b的手6上的整个晶片2被底部15a从下侧覆盖。[0054]另外，配置于第二位置6b的整个手6被顶板16b、17b从上侧覆盖，且被侧板16c、17c从左右方向的两侧覆盖，同时被后板16d从后侧覆盖。即，盖部件15从上下方向的两侧、左右方向的两侧及后侧覆盖配置于第二位置6b的手6。具体地说，盖部件15从上下方向的两侧、左右方向的两侧及后侧覆盖配置于第二位置6b的整个手6。另外，盖部件15从上下方向的两侧、左右方向的两侧及后侧覆盖载置在配置于第二位置6b的手6上的整个晶片2。而且，盖部件15从上下方向的两侧、左右方向的两侧及后侧覆盖整个臂7。[0055]吸引机构19，20例如为真空泵。吸引机构19经由配管32连接至盖部件15，吸引机构20经由配管33连接至盖部件15。吸引机构19发挥将在盖部件15内部蒸发(挥发)的有机溶剂与空气一起吸引并排放到盖部件15外部的规定位置的作用。配管32的端部例如连接至盖部件15的上端侧部分。[0056]吸引机构20发挥将在盖部件15内部从晶片2洒落的液体状有机溶剂与空气一起吸引并排放到盖部件15外部的规定位置的作用。配管33的端部例如连接至盖部件15的底部15a。此外，在底部15a的上表面形成有将从晶片2洒落的液体状有机溶剂引导至配管33的排液管(槽)。[0057]盖移动机构18使可动盖17沿前后方向移动。即，盖移动机构18使可动盖17沿手6的往复移动方向移动。盖移动机构18具备作为驱动源的气缸30(参照图2)。气缸30配置于臂支承部件9的内部。另外，气缸30的主体部固定于臂支承部件9。气缸30的活塞杆经由规定部件安装于可动盖17的底板17a。本实施例的盖移动机构18为使构成作为接收部件的底部15a的一部分的底板17a沿前后方向移动的接收部件移动机构。[0058]盖移动机构18使可动盖17在第三位置17a和第四位置17b之间移动，其中，在第三位置17a，可动盖17的前端部17j的一部分从开口部3a进入处理装置3的内部(参照图2，图6(a)和图6(b))，在第四位置17b，可动盖17的前端部17j配置于处理装置3的外部(参照图1)。即，盖移动机构18使可动盖17在第三位置17a和第四位置17b之间移动，其中，在第三位置17a，从开口部3a进入处理装置3的底部15a的一部分配置于处理装置3的内部，在第四位置17b，底部15a配置于处理装置3的外部。[0059]另外，至少当载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时，盖移动机构18使可动盖17移动到第三位置17a，并将前端部17j的一部分配置于处理装置3的内部。即，至少当载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时，盖移动机构18使作为接收部件的底部15a的一部分移动到第三位置17a。[0060]在本实施例中，无论载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时及未载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时的哪个情况中，均使可动盖17移动至第三位置17a，并将前端部17j的一部分配置于处理装置3的内部。但是，也可以仅在载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时，使可动盖17移动到第三位置17a，并将前端部17j的一部分配置于处理装置3的内部。在这种情况下，当未载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时，可动盖17配置于第四位置17b。[0061]此外，即使在可动盖17配置于第三位置17a的状态下，可动盖17的后端侧部分也容纳于固定盖16中。另外，无论可动盖17配置于第三位置17a还是配置于第四位置17b，配置于第二位置6b的整个手6均被盖部件15从上下方向的两侧、左右方向的两侧及后侧覆盖。另外，在本实施例中，配置于第一位置6a的手6的后端部配置于可动盖17的内部，可动盖17配置于第三位置17a(参照图6(b))。[0062]例如，当机器人4将由处理装置3处理的处理后晶片2从处理装置3搬出时，使配置于第四位置17b的可动盖17移动到第三位置17a(参照图6(a))，然后使配置于第二位置6b的手6移动到第一位置6a，且从处理装置3接收晶片2(参照图6(b))。另外，使接收到晶片2的手6从第一位置6a移动到第二位置6b后，使配置于第三位置17a的可动盖17移动到第四位置17b。[0063]然后，使臂支承部件9升降或使保持架10转动后，将晶片2搬入进行后续工序的处理装置。此外，在进行后续工序的处理装置中，也形成有与开口部3a同样的开口部，使配置于第四位置17b的可动盖17移动到第三位置17a之后，使配置于第二位置6b的手6移动到第一位置6a，并将晶片2移交给进行后续工序的处理装置。另外，使移交了晶片2的手6从第一位置6a移动到第二位置6b后，使配置于第三位置17a的可动盖17移动到第四位置17b。[0064]另外，例如，当机器人4将处理前的晶片2搬入到处理装置3时，使配置于第四位置17b的可动盖17移动到第三位置17a之后，使配置于第二位置6b的手6移动到第一位置6a，且将晶片2移交给处理装置3。另外，使移交了晶片2的手6从第一位置6a移动到第二位置6b后，使配置于第三位置17a的可动盖17移动到第四位置17b。[0065]此外，在进行前工序的处理装置中，也形成有与开口部3a同样的开口部，使配置于第四位置17b的可动盖17移动到第三位置17a之后，使配置于第二位置6b的手6移动到第一位置6a，且从进行前工序的处理装置接收晶片2。另外，使接收到晶片2的手6从第一位置6a移动到第二位置6b后，使配置于第三位置17a的可动盖17移动到第四位置17b。然后，使臂支承部件9升降或使保持架10转动后，将晶片2搬入到处理装置3。[0066](本实施方式的主要效果)[0067]如上所述，在本实施例中，配置成比手6靠下侧且用于接收从晶片2掉落的物体的底部15a配置于载置在配置于第二位置6b的手6上的晶片2的下侧(即，配置于处理装置3外部的晶片2的下侧)。因此，在本实施例中，当机器人4在处理装置3的外部对载置在手6上的晶片2进行搬运时，即使载于晶片2上的有机溶剂从晶片2洒落，也可以通过底部15a抑制洒落的有机溶剂扩散。[0068]另外，在本实施例中，当载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时，盖移动机构18使可动盖17的前端部17j的一部分从开口部3a移动到处理装置3的内部并配置在处理装置3的内部。即，在本实施例中，当载置有晶片2的状态的手6在第一位置6a和第二位置6b之间移动时，盖移动机构18使底面部17d的前端部从开口部3a移动到处理装置3的内部并配置在处理装置3的内部。因此，在本实施例中，当机器人4将载置在手6上的晶片2从处理装置3搬出时、及当机器人4将载置在手6上的晶片2搬入到处理装置3中时，即使载于晶片2上的有机溶剂从晶片2洒落，也可以通过底部15a抑制洒落的有机溶剂扩散。[0069]如上所述，在本实施例中，当机器人4在处理装置3的外部对晶片2进行搬运时，即使载于晶片2上的有机溶剂从晶片2洒落，或者，当机器人4将晶片2从处理装置3搬出时、及当机器人4将晶片2搬入到处理装置3中时，即使载于晶片2上的有机溶剂从晶片2洒落，也可以通过底部15a抑制洒落的有机溶剂扩散。而且，在本实施例中，由于配置于第二位置6b的手6被盖部件15从上下方向的两侧、左右方向的两侧及后侧覆盖，因此可以通过盖部件15抑制蒸发的有机溶剂在处理装置3的外部扩散。因而，在本实施例中，当机器人4搬运晶片2时，可以抑制有机溶剂在处理装置3的外部扩散。[0070]特别是在本实施例中，吸引机构20发挥吸引在盖部件15内部从晶片2洒落的液体状有机溶剂并将其排放到盖部件15外部的规定位置的作用，因此可以有效地抑制从晶片2洒落的有机溶剂在处理装置3的外部扩散。另外，在本实施例中，吸引机构19发挥吸引在盖部件15内部蒸发的有机溶剂并将其排放到盖部件15外部的规定位置的作用，因此可以有效地抑制蒸发的有机溶剂在处理装置3的外部扩散。[0071](其他实施例)[0072]上述实施例是本发明的最佳实施例的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以实施各种变形。[0073]在上述实施例中，当机器人4将由处理装置3处理的处理后晶片2从处理装置3搬出时，也可以在使手6从第二位置6b移动至第一位置6a的同时使可动盖17从第四位置17b移动至第三位置17a。另外，也可以在使手6从第一位置6a移动至第二位置6b的同时使可动盖17从第三位置17a移动至第四位置17b。即使在这种情况下，底部15a也总是被配置于载置在朝向第二位置6b移动的手6上的晶片2的下侧。[0074]另外，在上述实施例中，当机器人4将处理前的晶片2搬入到处理装置3时，也可以在使手6从第二位置6b移动至第一位置6a的同时使可动盖17从第四位置17b移动至第三位置17a。即使在这种情况下，底部15a也总是被配置于载置在朝向第一位置6a移动的手6上的晶片2的下侧。另外，也可以在使手6从第一位置6a移动至第二位置6b的同时使可动盖17从第三位置17a移动至第四位置17b。[0075]在上述实施例中，固定盖16和可动盖17也可以被一体化。在这种情况下，机器人4具备盖移动机构，该盖移动机构使由固定盖16和可动盖17一体化形成的盖部件15沿前后方向移动。即，在这种情况下，机器人4具备作为接收部件移动机构的盖移动机构，接收部件移动机构使作为接收部件的整个底部15a沿前后方向移动。在这种情况下，盖移动机构可以使盖部件15相对于臂支承部件9沿前后方向移动，也可以使盖部件15与臂支承部件9一起相对于保持架10沿前后方向移动。[0076]但是，在如上述实施例那样固定盖16和可动盖17分开形成且盖移动机构18仅使可动盖17移动的情况下，与使整个盖部件15移动的情况相比，即使盖移动机构18的驱动力较小，也可以使可动盖17移动。因而，在上述实施例中，可以简化盖移动机构18的结构，使盖移动机构18小型化。[0077]在上述实施例中，虽然机器人4分别具备将在盖部件15内部蒸发的有机溶剂排放到盖部件15外部的规定位置的吸引机构19和将在盖部件15内部从晶片2洒落的液体状有机溶剂排放到盖部件15外部的规定位置的吸引机构20，但是机器人4也可以具备将在盖部件15内部蒸发的有机溶剂及在盖部件15内部从晶片2洒落的液体状有机溶剂排放到盖部件15外部的规定位置的共用吸引机构。[0078]在上述实施例中，虽然底部15a从下侧覆盖配置于第二位置6b的整个手6，但是如果底部15a从下侧覆盖载置在配置于第二位置6b的手6上的整个晶片2，则也可以不从下侧覆盖配置于第二位置6b的整个手6。另外，在上述实施例中，盖移动机构18也可以具备气缸30以外的驱动源。例如，盖移动机构18也可以具备作为驱动源的电动机。[0079]在上述实施例中，机器人4可以具备使手6沿前后方向滑动的手移动机构来替代臂7及臂驱动机构12。在这种情况下，手移动机构具备例如电动机、滚珠丝杠、导轨以及导块等。或者，手移动机构具备例如电动机、皮带、带轮、导轨以及导块等。[0080]在上述实施例中，有机溶剂以外的物体也可以载在从处理装置3搬出的晶片2的上表面或搬入到处理装置3中的晶片2的上表面。在载于晶片2上表面的物体为非挥发性物体或者低挥发性物体的情况下，机器人4可以具备例如由底板16a和底板17a构成的接收部件或由底板17a构成的接收部件，来替代盖部件15。在机器人4具备由底板17a构成的接收部件的情况下，在处理装置3的外部，接收部件和手6一起沿前后方向移动，以使接收部件总是配置于载置在手6上的晶片2的下侧。另外，在上述实施例中，也可以用处理装置3来处理晶片2以外的处理对象物。例如，可以用处理装置3处理玻璃基板。